Tuoteryhmä
Ota yhteyttä

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Mekko:

Laitos nro 19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Kiina


Puh:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Faksi:

+86 29 3315 9049


Sähköposti:

info@pvdtarget.com

sales@pvdtarget.com



Huoltohenkilökunta
029 3358 2330

Tekniikka

Etusivu > TekniikkaSisältö

Planar magnetronit PVD pinnoitteet


Planar magnetronit PVD pinnoitteet


Planar Magnetron on pohjimmiltaan klassinen ”diode” tila sputtering lisäksi Kestomagneetti array takana katodi katodi. Magneetti array on järjestetty niin, että magneettikenttä on normaalia suljettu tie Sähkökenttä ja muodostaa rajan ”tunnelin”, joka ansoja elektronit lähelle pintaa tavoite. Electron ansastusta tehostaa ion muodostumista ja rajoittaa vastuuvapauden plasma, joten enemmän nykyisestä pienempi kaasunpaine ja saavutetaan suurempi pauke laskeuman osuus PVD (fyysinen höyrypinnoitus) pinnoitteet.


Useita eri Magnetron Sputtering katodi/target muotoja on käytetty, mutta yleisin on pyöreä ja suorakulmainen. Suorakulmainen magnetronit löytyvät useimmiten suuremmassa mittakaavassa jonossa Magnetron Sputtering järjestelmien jolla substraattien skannata lineaarisesti aiemmin hihnakuljettimella tai operaattorin kohteitasi. Pyöreä magnetronit tavataan yleisesti pienemmässä mittakaavassa Konfokaali panosprosessit tai yhden kiekkojen asemien klusterin työkaluja.


Vaikka monimutkaisempia malleja voidaan tehdä useimmat cathodes - kuten lähes kaikki pyöreä ja suorakulmainen niistä - on yksinkertainen samankeskinen magneetti malli Center on yksi napa ja kehä päinvastoin. Pyöreä Magnetron tämä on suhteellisen pieni ja pyöreä magneetti keskustassa ja rengasmainen rengasmagneettia päinvastainen päin noin ulkopuolella aukko välillä.


Suorakulmainen Magnetron center, yksi on yleensä palkki pitkän akselin (mutta pienempi kuin täyspitkä) kanssa suorakulmainen ”aidan” päinvastainen päin kaikki päin se aukko välillä. Kuilu, jossa plasma on pyöreä rengas pyöreä Magnetron tai pitkänomainen ”kilparatoja” suorakulmainen. Huomaa, että erityisesti suurempi cathodes magneetit voi olla useita yksittäisillä lohkoilla kuin yksi kiinteä pala.


Kohde katodi pinnoite-materiaali käytetään PVD ja materiaali on sputters pois, voi nähdä nämä ominaisuus eroosio mallit kohde kasvonsa. Asiassa ongelmatapauksissa magneetti kuten puuttuvia, väärin, tai ylösalaisin eroosio polku on epänormaali ja tämä voi olla hyvä diagnostinen osoitus tällaisia ongelmia Magnetron Sputtering katodi.


Pole suunta yksittäisten magneettien tulee olla yksi napa on muodostettu keskellä, ja päinvastoin on pole laskeutumisalueen. On olemassa muutamia tapoja tehdä tätä. Yleisin on asentaa magneetit pohjoisen ja etelän puolalaiset kohtisuorassa tavoite, yksi napa kohti tavoitetta ja toisessa päässä - ”vapaa” pää / vastapäätä pole - magneettisesti umpeen ja muita magneetteja pole levy tehty magneettinen (normaalisti rauta) materiaalia.


Täydellinen magneettinen piiri on siis avoin pohjoisnavalle magneettia (tai ketjun yksittäisten magneettien ellei yksiosainen) päinvastaiseksi etelänapa yhdessä magneettisesta aineesta pohjoisnavalle toisen jonka etelänapa on sitten auki. Nämä kaksi magneettisesti vastapäätä avoinna päättyy kasvot kohti tavoitetta ja tuloksena magneettikentän arches tavoite muodostaa ansastusta plasma keskittää tunnelin electron pinnan yläpuolella.


Huomaa, että PVD Magnetron toimii joko magneettinen Alignment - keskus voi olla pohjoiseen ja kehä voi olla etelään tai päinvastoin. Kuitenkin useimmissa Planar Magnetron Sputtering järjestelmissä, on olemassa useita cathodes melko lähellä toisiaan, ja haluat harhailla Pohjoinen / Etelä kentät on muotoiltu välillä tavoitteet.


Nämä N/S Magnetron magneettikentät olisi tavoitteita kasvot, muodostaen halutun magneettinen tunneleissa. Tästä syystä on täysin toivottavaa varmistaa, Kaikki yhden järjestelmän cathodes tasataan samaan tapaan kaikki pohjoiseen niiden kehä tai kaikki etelään niiden kehä. Ja palveluja useita pauke järjestelmiä, on myös suotavaa, jotta ne kaikki samat cathodes vaihtaa turvallisesti ilman huolta magneetti yhdenmukaistaminen järjestelmien välillä.


On huomioitava ja vaihtoehtoja magneetit. Useimmat kohdemateriaalit ovat ei magneettinen ja näin ei häiritse tarvittavat magneettikentän voimakkuus. Mutta jos ovat sputtering magneettisia materiaaleja kuten rauta- tai nikkeli, tarvitset joko suurempi vahvuus magneetteja, ohuempi tavoitteita ja/tai välttääksesi tehokkaasti oikosulku magneettinen kohde materiaalin pinta magneettikenttä.


Sitä, että magneetti kulutusluottojen magneettisuutta ja aukon mitat voidaan suunnitella parantaa kohde käyttöä tai parantaa yhdenmukaisuutta suorakulmainen kohde pääasiallinen akselilla. On jopa mahdollista käyttää sähkömagneetit pysyvä magneetteja, jotka on varaa jonkin verran ohjelmoitava ohjaus magneettikentän, mutta, tietenkin lisätä monimutkaisuus ja kustannukset.


Pauke cathodes ovat yleensä vesijäähdytteinen, liittyy yleensä kuparia, taustalevyllä, joka on suoraan vesijäähdytteinen tavoite joko liimattu tai kiinnitettynä siihen. Ja monissa tapauksissa magneetit sijaitsevat vesivaippa vesikosketukseen, joka uskottava puhelinluettelon tällainen cathodes pole-levy.


Tässä tapauksessa näin ollen on tarpeen toteuttaa asianmukaiset toimenpiteet korroosion magneetit tai pole-levy. Pole levyt on valmistettu magneettinen seoksista ruostumattomasta teräksestä, esimerkiksi välttää korroosiota ja magneetit, joka riippuen niiden koostumus voi muuten vaikuttaa altistuminen veden voidaan kiteyttää muovi- tai epoksi.


Planar magnetronit ja läheiset serkut clamp-on upotettavat kohde magnetronit käyttäjät entistä suuremman pauke laskeuman kuin yksinkertainen diodi kokoonpano katodit. Ne ovat myös kyetä plasma on matalampi kaasun paine, joka voi avata kyseisen parametrin prosessit säätö saavuttaa kyseisen elokuvan ominaisuuksia voivat olla haluttu.


Monenlaisia katodit ja tavoitteet ovat kaupallisesti saatavilla, kuten erilaisia vaihtoehtoja magneetin voimasta ja asettelun parantaa piirteitä prosessi tarvittaessa. Niistä on tullut tukipilari Magnetron PVD pauke käsittely.


Moderni ja hyvin varustettu kasvi-ja arvokasta tietoa ohut PVD pintakäsittelyjä, materiaaleja ja sovelluksiaHaohai metalliakehittää PVD pinnoite ratkaisuja, jotka todella kilpailuetuja asiakkaillemme, olemme luotettava sopimuskumppani korkea laatu valmistuskatodipölyynnystä tavoitteetja arc katodit.


Haohai metalli (Haohai titaani) antaa monenlaisia coating materiaalit eri kokoonpano, kuten käännettävissä katodipölyynnystä tavoitteet, planar katodipölyynnystä tavoitteet, arc cathodes, haihtuminen materiaalit ja Upokkaat materiaalitItaniumzirkoniumKromihafniumniobiumTantaalimolybdeeniSiliconTitanium-alumiininikkeli-KromiSilicon-alumiinijaKromi-alumiini jne.