Tuoteryhmä
Ota yhteyttä

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Mekko:

Laitos nro 19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Kiina


Puh:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Faksi:

+86 29 3315 9049


Sähköposti:

info@pvdtarget.com

sales@pvdtarget.com



Huoltohenkilökunta
029 3358 2330

Uutiset

Etusivu > UutisetSisältö

Suuntaviivat ja varotoimet metallien sputterointitavoitteiden käyttämiseksi

Suuntaviivat ja varotoimenpiteet metallien sputterointitavoitteiden käyttämiseksi

Ensin sputterointivalmiste

On erittäin tärkeää säilyttää tyhjiökammio, etenkin sputterointijärjestelmä puhtaana. Kaikki voiteluöljyllä ja pölyllä muodostetut jäännökset ja esipäällystys keräävät vesihöyryä ja muita epäpuhtauksia, jotka vaikuttavat suoraan tyhjiöasteeseen saadakseen ja lisäämällä kalvovaurion mahdollisuutta. Metallisuihkutuskohteet Oikosulku- tai kohdekäyräkaari, kalvon pinnan karheus ja kemialliset epäpuhtaudet ylittyy usein epäpuhtaiden sputterointilaitteiden, porauslaitteiden ja tavoitehäiriöiden vuoksi. Päällystysominaisuuksien koostumuksen säilyttämiseksi sputterointikaasun (argonin tai hapen) on oltava puhdas ja kuiva, sputterointikammio substraattiin sen jälkeen, kun tarvittiin poistamaan ilma halutun tyhjöprosessin saavuttamiseksi. Myös tummien alueiden suojat, ontelo-seinät ja vierekkäiset pinnat on pidettävä puhtaina. Tyhjökammion puhdistamisessa suosittelemme lasipallon räjäytysmenetelmän käyttämistä likaosien käsittelyyn samanaikaisesti paineilman kanssa, jotta ontelon irrottaminen ennen esiskannausjäämää ja sitten alumiinioksidilla kyllästetty hiekkapaperi varovasti pinnalle kiillotuksesta. Kiillottamalla sideharsoa, huuhtele sitten alkoholilla, metalli Sputtering Tocets asetonilla ja deionisoidulla vedellä ja suosittelemme teollisuuspölynimurin käyttöä apupuhdistukseen.

VAROITUS: Kun käytät kohdetta, pidä puhtaita ja suojaamattomia suojakäsineitä ja vältä suoraa kosketusta kohteen kanssa

Toiseksi kohde on puhdas

Tavoitteen puhdistuksen tarkoitus on poistaa pöly tai lika, joka voi olla läsnä kohteen pinnalla.

Metalliset kohteet voidaan puhdistaa neljällä askeleella,

Ensimmäinen vaihe asetonissa, joka on liotettu nukkaamattomaan pehmeään kankaaseen puhtaana;

Toinen vaihe on samanlainen kuin ensimmäinen vaihe alkoholin kanssa;

Kolmas vaihe on pesu deionisoidulla vedellä. Deionisoidun veden pesemisen jälkeen kohde asetettiin uuniin ja kuivattiin 100 ° C: ssa 30 minuuttia.

Oksidin ja keraamisen kohteen puhdistus puhdistetaan "nukkaamattomalla liinalla".

Vaihe 4 Likaisen alueen poistamisen jälkeen Metal Sputtering Targets huuhtele tavoite argonilla korkeassa paineessa ja matalassa kosteudessa kaikkien epäpuhtauksien poistamiseksi, jotka voivat aiheuttaa kaarteita sputterointisysteemissä

Kolmanneksi kohdeasennus

Tärkeintä huomata asennuksen aikana tavoitteena on varmistaa, että tavoite ja sputterointipistoolin jäähdytysseinä muodostavat hyvät lämpöyhteydet. Jos jäähdytysseinämän jäykkyys on vakava tai takalevyn taivutus on vakava, halkeilu tai taivutus tapahtuu, kun kohde on asennettu ja takatavoitteen lämpöjohtavuus kohteeseen kohdistuu suuresti, Metal Sputtering Targetsin seurauksena kuumuus sputterointiprosessissa Jakautuminen johtaa lopulta kohdepoistoon tai pois tavoitteesta

Riittävän lämmönjohtavuuden varmistamiseksi voidaan grafiittikerros pehmentää katodin jäähdytysseinän ja kohteen välillä. Varmista huolellisesti, tarkasta ja selkeytynä ruiskutussylinterin jäähdytysseinämän tasaisuus samalla kun varmistat, että O-rengas on aina paikallaan.

Käytetyn jäähdytysveden puhtauden ja laitteen mahdollisen kontaminaation vuoksi laitteiston toiminnan aikana on tarpeen tarkastaa ja puhdistaa katodijäähdytysvesisäiliö asentaessasi tavoite, jotta varmistetaan laitteen sileä virtaus. jäähdytysvettä ja tulo- ja poistoaukkoa ei estetä.

Jotkut katodisuunnittelusta ovat pienemmät anodin aukon, Metal Sputtering Targetsin kanssa, joten kohteen asentamisen on varmistettava, että katodi ja anodi eivät ole kosketuksissa johtimen kanssa, sillä ei ole mahdollista, muuten se aiheuttaa oikosulun.

Katso laitteen valmistajan ohjeista, kuinka kohde voidaan asentaa oikein. Jos sinulla ei ole näitä tietoja käyttöohjeessa, yritä noudattaa annettuja ohjeita. Kiinnitä tavoite kiinnittimellä ensin kiristämällä pultti käsin ja kiristä sitten toinen pultti ristikudoksella, niin että toistetaan Metal Sputtering Targets, kunnes kaikki pultit on asennettu ja kiristä sitten työkalu.